台湾报导:哈工大研发出135纳米极紫外光曝光机芯脏

时间: 2025-04-22 09:31:25 |   作者: 常见问答

  「放电等离子体极紫外光刻光源」由哈尔滨工业大学航太学院的赵永鹏教授(左2)研发。

  中国哈尔滨工业大学日前在官方新闻网宣布,「放电等离子体极紫外光刻光源」两个项目获得获黑龙江省高校和科研院所职工科学技术创新成果转化大赛一等奖。也就是被誉为「曝光机心脏」的极紫外(EUV)光源技术有了突破。

  中华经济研究院第二研究所国际链结组副组长江泰槿23日表示,由于美国持续制裁中国,迫使中国不得不在制程微缩、封装技术及新材料开发方面寻求突破,而曝光机属于制程微缩的部分,这代表中国想要绕过艾司摩尔(ASML)自己开发极紫外光(EUV)曝光机光源,但现阶段仍属于实验室等级,开发成本相当高,短期量产几率不高。」

  哈尔滨工业大学新闻网报导,这项名为「放电等离子体极紫外光刻光源」的项目,由航太学院的赵永鹏教授研发。该项目「具有高能量转换效率、低成本、紧凑体积以及相比来说较低的技术难度」等优势。

  可提供中心波长为13.5纳米的极紫外光,能够很好的满足极紫外光刻市场对光源的迫切需求,为推动中国极紫外光刻领域发展、解决高端制造领域核心问题作出了贡献。

  在半导体行业中,曝光机是最复杂且最难制造的设备之一,有极紫外光(EUV)与深紫外光(DUV)之分,其中极紫外光(EUV)曝光机制造技术方面的要求很高,是中国的技术短板。中国的科研院所与高校一直进行科技攻关,解决制造技术上的难题。

  目前只有极紫外(EUV)曝光机能够生产小于7纳米的芯片,而当前全球唯一能制造极紫外光(EUV)曝光机的公司是荷兰的艾司摩尔(ASML)。但在美国压力下,自2019年以来,艾司摩尔(ASML)就已被禁止,向中国出售最先进的设备。

  隶属于中国工信部的哈工大,始建于1920年,当时校名为哈尔滨中俄工业学校采俄语授课,建校的宗旨是为俄国控制的中东铁路培养工程技术人才,目前拥有哈尔滨、威海、深圳三个校区,是一所以理工为主,理、工、管、文、经、法、艺等多学科协调发展的重点大学,已故台湾前行政院长孙运璇也毕业于哈工大。

  日前,山西省大同市中级人民法院审理席某某上诉案及所涉婚约财产纠纷上诉案的审判长接受记者正常采访:本案系不公开审理的案件,一审宣判后,鉴于网上存在大量不实信息,法院在法律规定范围内最大限度回应社会关切,澄清事实。

  随着中美贸易冲突的升级,两国之间大宗商品的贸易流向正逐渐发生明显的变化:以大豆为例,分析人士指出,巴西有望进一步巩固中国最大大豆进口来源国的地位。美国大豆种植户警告,美国大豆可能将永远失去中国市场。

  有记者问:据多家报道,消息的人偷偷表示,特朗普政府正准备在关税谈判中向其他几个国家施压,要求其他几个国家限制与中国的贸易往来,以换取美方关税豁免。请问发言人对此有何评论?答:我们注意到有关报道。

  △美国加州州长纽森(资料图)美国人口和经济规模第一大州加利福尼亚州州长纽森当地时间16日宣布就关税问题起诉特朗普政府。他批评特朗普政府滥用关税政策的行为“违法”,给美国经济导致非常严重混乱和破坏。加州成为全美第一个就关税问题起诉特朗普政府的州。

  玩具业是美国遭受关税冲击最严重的行业之一。美国有线电视新闻网(CNN)指出,对中国生产的玩具加征高额关税,意味着曾经物美价廉的玩具将变成“奢侈品”。美国商务部多个方面数据显示,2024年美国进口了价值177亿美元的玩具,其中75%来自中国。

  4月21日,#美团再辟谣要求骑手二选一 :某平台配送延误主要是其自身问题。#美团称京东对骑手大额罚款 。

  山西“订婚案”维持原判,被告获刑3年,审判长答问:处女膜未破裂影不影响罪的认定?#媒体精选计划

  4月21日,#京东称有竞对平台强迫外卖骑手二选一 ,导致京东部分外卖订单延迟,#京东宣布对超时20分钟以上外卖全部免单 。

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  全民国家安全教育·走深走实十周年——“大安全”主题对联征集活动优秀作品赏析

  品楹联艺术树安全理念“大安全”主题对联优秀作品日前,由深圳市国家安全局策划主办、深圳报业集团读特客户端承办的全民国家安全教育10周年“大安全”主题对联征集活动圆满结束。经专家评审,共评出25份获奖作品。以楹联艺术传递安全理念,共筑国家安全防线,欢迎广大读者品鉴佳作!

  京东表示:近期,有竞对平台再次玩起“二选一”游戏,强迫各位骑手不能接京东平台的秒送订单,如有违反,会采取封杀措施。

  美国是全球最大的农产品出口国,中国是美国农产品出口的最大市场。而美国政府在中美贸易战中反复以“关税大棒”试图打击中国,却让本国豆农沦为政治博弈的牺牲品。当美国仍沉迷关税数字游戏时,中国早已大幅摆脱对美国农产品的依赖。中国向美国传递一个清晰的信号:谈,大门打开;打,奉陪到底!

  在阅读此文之前,麻烦您点击一下“关注”,既方便您进行讨论和分享,又能给您带来不一样的参与感,感谢您的支持文、编辑小娄2022年12月29日这天,消失在大众视野许久的央视主持人朱军在社交平台上更新了一则内容。

  原中国社会科学院博士后,移居加拿大多年;本栏目实时分享海外最新资讯,美丽自然风光;所有择录转发内容均不代表本人观点,仅供茶余饭后,休闲娱乐!

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